我们技术的核心

SC-350 工艺腔体

SC-350 的核心是一款多功能工艺腔体,不仅适用于真空回流焊等现有标准应用,也为未来的创新工艺而设计。它配备强大的自动化平台,并采用面向未来的软件架构,支持智能制造和 IoT 应用。

  • 精准控制工艺参数
  • 适用于大规模量产和灵活调整
  • 功能无限扩展
  • 研发、试产与量产的最大灵活性
  • IoT 连接能力
  • 全球支持,运营成本低,并具备认证的 IT 安全性

SC 系列:智能加工核心

SC 系列代表了 REK Innovation 新一代智能工艺腔体,将研发灵活性与连续运行所需的性能和可靠性相结合。

  • 工作区域:400 × 350 × 70 mm
  • 最高温度:可达 1000°C
  • 真空能力:高真空工艺,确保最高纯度
  • 气氛控制:可调节惰性与反应性气体(包括用于无助焊剂焊接的甲酸)
SC 系列示意图

智能工艺控制,实现最高效率

SC-350 运行中

SC-350 支持接触式与非接触式热传递,可用于处理 DBC 或 AMB 基板上的功率电子器件。

  • 独立加热与冷却控制,实现极快的温度变化
  • 高效率,短周期时间,最大化生产力

应用领域

真空回流焊炉主要用于对无气孔焊接要求极高的应用:

  • 功率电子(DBC / AMB)
  • LED 制造
  • 芯片贴装与晶圆级封装
  • 基板焊接与封装密封
  • 其他热处理工艺,如退火、烧结、合金化

技术亮点

  • 控制精度: 全流程 ±0.5 K
  • 温度均匀性: 在 450 × 350 mm 全工艺区域内实现 1% 均匀性——包括升温与降温阶段
  • 先进控制系统: 支持工业 4.0,具备安全远程访问与长期可用性
  • 灵活的热传递方式: 可对产品进行直接或间接加热,适用于不同材料、工艺与热需求
  • 适用于所有焊接工艺: 完美支持无助焊剂与含助焊剂焊料

技术参数

  • 外形尺寸(宽 × 深 × 高): 790 × 1420 × 1230 mm
  • 重量: 约 230 kg
  • 最高工艺温度: 1000 °C
  • 工艺腔体尺寸: 450 × 350 × 75–150 mm(宽 × 长 × 高)
  • 适用产品: 功率模块、T/R 模块、功率 LED、激光条、MEMS、倒装芯片工艺
  • 典型装载示例: 300 mm 晶圆
  • 温度控制性能: 控制精度 ±0.5 K
  • 温度均匀性: 全工艺区域 1% 均匀性
  • 工艺气氛与压力范围:
  • • 支持气氛:甲酸、惰性气体、Formiergas(≤ 5% H₂)、氢气
    • 压力范围:从 1 bar 正压,经大气压至高真空 5 × 10⁻⁶ mbar
    • 全流程原位残氧监测

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